關(guān)于inficon真空計(jì),你可能想了解這些內(nèi)容!
更新時(shí)間:2023-07-21
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什么是inficon真空計(jì)?真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài),是一種物理現(xiàn)象。在真空技術(shù)里,真空系針對(duì)大氣而言,一般指特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出,使其壓力小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,則我們通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。真空常用帕斯卡(Pascal)托爾(Torr)毫巴(mbar)等做為壓力的單位。真空計(jì)(VacuumGauge,也稱真空表、真空規(guī)管,是測(cè)量真空度或低氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照inficon真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和電容薄膜規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)、熱傳導(dǎo)規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
壓力測(cè)量中,除少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測(cè)量這一過(guò)程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn),亦會(huì)造成某些問(wèn)題。inficon真空計(jì)是測(cè)量低于一個(gè)大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。是從真空計(jì)本身測(cè)得的物理量直接計(jì)算出(或得出)壓力的儀器。需經(jīng)過(guò)絕對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測(cè)量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才顯著,超出這個(gè)范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測(cè)量范圍,這個(gè)范圍就是真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。