德國(guó)INFICON薄膜沉積控制器

更新時(shí)間：2023-07-21

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INFICON是儀器，關(guān)鍵傳感器技術(shù)和過(guò)程控制軟件的提供商，這些產(chǎn)品可復(fù)雜工業(yè)真空工藝的生產(chǎn)率和質(zhì)量。這些分析，測(cè)量和控制產(chǎn)品對(duì)于空調(diào)/制冷和汽車(chē)制造中的氣體泄漏檢測(cè)。對(duì)于光學(xué)和平面顯示器，太陽(yáng)能電池和工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用中的半導(dǎo)體和薄膜鍍膜的復(fù)雜制造，它們對(duì)于設(shè)備制造商和終用戶。我們基于真空的工藝的其他用戶包括生命科學(xué)，研究，航空航天，包裝，熱處理，激光切割和許多其他工業(yè)工藝。我們還利用我們?cè)谡婵占夹g(shù)方面的知識(shí)來(lái)提供的，

INFICON薄膜沉積控制器：

IC6薄膜沉積控制器

XTC / 3薄膜沉積控制器

Cygnus®2薄膜沉積控制器

SQC-310薄膜沉積控制器

產(chǎn)品應(yīng)用說(shuō)明：

INFICON薄膜沉積控制器IC6沉積控制器允許使用QCM傳感器控制沉積過(guò)程的速率。從基本的功能到大的功能，INFICON均可提供沉積控制器以滿足您的需求。市場(chǎng)的 NFICON 薄膜沉積控制器、監(jiān)測(cè)器和 QCM 測(cè)量?jī)x能夠以無(wú)可匹敵的測(cè)量速度和精度控制復(fù)雜過(guò)程的沉積率和厚度。高級(jí)軟件和邏輯 I/O 功能使我們的薄膜沉積控制器/QCM 測(cè)量?jī)x能夠完全集成到真空系統(tǒng)中，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)過(guò)程控制?？刂撇荒敲磸?fù)雜的過(guò)程時(shí)，可使用 INFICON 經(jīng)濟(jì)型精密控制器、監(jiān)測(cè)器和 QCM 測(cè)量?jī)x，它們的薄膜測(cè)量精度比傳統(tǒng)技術(shù)高出 100 倍。

典型的 QCM 系統(tǒng)包括石英晶體 (感測(cè)裝置)、晶體支架 (傳感器，用于固定晶體并實(shí)現(xiàn)與晶體的電氣連接)、用于驅(qū)動(dòng)晶體的振蕩器 (對(duì)于 ModeLock 測(cè)量?jī)x，則為 XIU)、控制器或監(jiān)測(cè)器 (用于讀取沉積率和厚度并存儲(chǔ)過(guò)程參數(shù))。INFICON 既可提供完整的 QCM 系統(tǒng)，又可提供為研究應(yīng)用設(shè)計(jì)的單個(gè)部件。

IC6薄膜沉積控制器在INFICON薄膜沉積控制器成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過(guò)程的價(jià)值。IC6使用我們的ModeLock頻率測(cè)量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定，逐步的速度和厚度測(cè)量，額定分辨率可達(dá)每1/10秒0.00433?/ s，是行業(yè)中的佼佼者。IC6具有其他石英晶體控制器擬的性能，品質(zhì)和功能，確認(rèn)您的過(guò)程卓越的可重復(fù)性。

主要技術(shù)參數(shù)：

INFICON ModeLock技術(shù)獲得，穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率的情況下

Auto Z技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的Z比值，可厚度測(cè)量的精度

支持多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積

彩色TFT LCD顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r

100ms樣本速率下頻率范圍為+/- 0.0035 Hz

U數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖，配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

強(qiáng)大的I / O能夠充分利用其可集成的簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)(使用可擴(kuò)展輸入(28)和輸出(24繼電器，14 TTL輸出)，并充分利用邏輯功能(100個(gè)邏輯語(yǔ)句)

6個(gè)標(biāo)準(zhǔn)DAC輸出和另6個(gè)可選輸出的源控制，速率或厚度監(jiān)控

可容納多50個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程200層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納10,000層。

多路傳感器可平均分配為8個(gè)傳感器

4米XIU選件能夠在大型系統(tǒng)中使用替代的真空傳感器電纜